特種氣體的主要生產(chǎn)工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測等步驟,其中氣體的純化、混配等是氣體公司的核心競爭力。特種氣體是指在特定領域中應用的對純度、品種、性質有特殊要求的氣體,隨著科學研究、自動化技術、精密檢測(特別是微電子技術)的發(fā)展,特種氣體成為工業(yè)氣體市場規(guī)模增長新動力,廣泛應用于半導體、LED、光纖光纜等新興行業(yè)。特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類,是隨著近年來科學研究、自動 化技術、精密檢測,特別是微電子技術的發(fā)展而發(fā)展起來的。
特種氣體分類:從應用領域劃分,特種氣體主要有電子氣體、高純氣體和標準氣體三種,廣泛應用 于電子半導體、化工、環(huán)保和高裝備制造等領域。特種氣體分類:電子氣體是指用于半 導體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體,目前,我國電子氣體品種基本齊全,但數(shù)量和質量與 發(fā)達國家相比,尚有較大差距;特種氣體的儲存注意事項:為防止高壓容器跌倒、滾落、損壞、閥門泄漏等造成安全隱患,存放場地需平坦,操作需謹慎、輕柔;并用鏈條、繩索等將其固定在靠墻等堅固位置。
特種標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體,是一種高度均勻,穩(wěn)定性良好和量值準確的氣體,它可以是單一的純氣體或高純氣體,也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標準氣體屬于標準物質之一,故又稱為氣體標準物質。特種氣體在集成電路領域的應用:特種氣體是半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料,處于半導體產(chǎn)業(yè)鏈的 上游,被稱為半導體的“源”,主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。特種氣體的重要性:在半導體工藝中,從芯片生長到后器件的封裝,幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離 不開電子特氣,因此電子氣體被稱為半導體材料的“糧食”和“源”。